對超純水處理設備常見的維護和及時有效的是清洗或消毒，是延長系統壽命的重要措施。污堵物成分越單一，清洗或消毒效果越好。分析污堵物的類型，從而采取相應的藥劑和措施，污堵物的類型一般分為3種。

1.顆粒污染癥狀：主要集中在超純水設備一段；進水壓力增加或壓差增加；

及膜元件前端污染；主要原因：保安過濾器失效；

2.生物污染癥狀：產水量下降（進水壓力和流量不變時）；膜元件表面有生物粘泥，手感滑膩并有魚腥味兒；脫鹽率可能會上升；原因：原水有機物含量高；細菌、藻類較多；前處理殺菌不足；阻垢劑加藥罐藥液存放時間過長 。

3.膠體污染癥狀：產水量下降（進水壓力和流量不變時）；脫鹽率下降；一段膜元件前端污染；原因：有機物，硅膠體，鐵膠體，鋁膠體。

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