軟化水設備采用的是樹脂置換原理，所謂的半逆流再生是四床五塔式除鹽系統，其工藝流程為：陽床—脫碳—陰床—陽床—陰床。

再生時，酸、堿再生液先分別進入第二臺陰、陽床，再串聯至第一臺的陰、陽床進行再生。當樹脂失效時，其型態排列陽床為：Ca型-Mg型-Na型-H型，可以按其反方向進行再生，即H型-Na型-Mg型-Ca型，這樣軟化水設備再生效率比較高。

與逆流再生方式類似，取得了相似的效益，所以叫做半逆流再生。此過程可恢復樹脂的置換能力，減低運行成本，適用于含鹽量較高的除鹽水處理。

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