單晶硅微電子行業用的反滲透純水設備簡析
單晶硅是一種半導體材料,可用于制造集成電路和半導體器件。它屬于非金屬元素。諸如探測器級單晶硅、電路級單晶硅和大功率晶體管等電力電子器件,可以使用單晶硅。在微電子工藝中,需要有要求的純水,如果工業純水的水質要求不符合要求,產品的使用將受到不同程度的影響。
反滲透純水設備可根據電子行業對純水質量的要求進行劃分。純水水質電阻率可細分為0.5MΩ.cm、2MΩ.cm、10MΩ.cm、15MΩ.cm、18MΩ.cm、18.2MΩ.cm等之間。
電子純水處理設備主要由預處理系統、離子交換混床(EDI電脫鹽系統)系統、RO反滲透主機系統等結構組成。預處理系統可根據當地原水水質采用鈉離子軟化器、精密過濾器、多介質過濾器、活性炭過濾器等工藝。
單晶硅微電子離子交換技術工藝流程:原水→ 多介質過濾器→ 活性炭過濾器→ 精密過濾器→ 中間水箱→ 反滲透設備→ 混床→ 超純水儲罐→ 超純水泵→ 保安過濾器→ 用水點。
預處理工藝采用反滲透技術,其次是離子交換技術。優點是離子設備的再生周期相對較長,酸堿消耗遠低于單獨使用離子樹脂。
上述是用于微電子行業水處理設備的水處理工藝之一。如果您想了解其他水處理工藝,可以到君浩環保進行詳細方案查詢。




