電子元器件清洗用超純水設備通常是什么工藝?
電子行業清洗對水質的要求
微電子工業、大規模和超大規模集成電路需要大量高純度的水來清洗半成品和成品。集成電路的集成密度越高,對水質的要求就越高。這也對超純水處理工藝和產品的簡單性、自動化、連續性和可持續性提出了嚴格要求。
為了滿足用戶的需求,達到標準水質,盡可能減少各級污染,延長設備的使用壽命,減少操作人員的維護工作量。在工藝設計中,以符合國家自來水標準的水為源水,設置介質過濾器、活性炭過濾器、鈉離子軟化劑和預外處理系統,RO反滲透主機系統、離子交換混床系統(FD電脫鹽系統)等。系統中的水箱配備液位控制系統,水泵配備壓力保護裝置、在線水質檢測和控制儀表,用電采用PLC可編程序控制器,真正實現了無人值守。同時選材采用推薦與客戶要求相結合的方法,與其他同類產品相比,超純水設備具有很好的設備可靠性。




