超純水設備，是指化學純度高的水。其采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎都去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。主要應用半導體、電子、光電、制藥或實驗室等高科技產業領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用最普遍的還是電子行業。

在超純水設備的生產過程中，水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術等去除，水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除;水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

該設備特點：

1.整體化程度高 , 易于擴展 , 增加膜數量即可增加處理量。

2.自動化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自動保護功能。

3.膜組件為復合膜卷制而成 , 表現出更高的溶質分離率和透過速率。

4.能耗低 , 水利用率高 , 運行成本低。

5.結構合理 , 占地面積少。

6.膜保護系統在設備關機時，可自動將膜面污染物沖洗干凈，延長膜壽命。

7.無易損部件 , 無須大量維修 , 運行長期有效。

8.設備設計有膜清洗系統，用阻垢系統。

需要注意事項：

1.操作人員應具備純水設備基礎知識，掌握操作規程。

2.本設備嚴禁超壓負荷工作。

3.電機應定期檢查。

4.長期閑置不用，應定期攪動，以免樹脂發霉。