超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四個步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置、EDI電除鹽裝置、拋光混床單元等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm（25℃）。這也使得超純水設備平時養護的時候需要很多的注意事項，一個不小心有可能就導致設備不能正常的運行導致出水質量降低。

一、次氯酸鈉添加量應根據水源中細菌數進行相應調整，除了定期對細菌數進行檢測外，還應對混合離子交換柱入口游離氯進行檢測，以免游離氯超標，影響樹脂的正常運行。

二、注意用水點旋塞的污染，使用頻率較小的旋塞容易成為微生物污染的對象，一旦污染，若不長時間放水沖洗，無法恢復原狀態。

三、市售次氯酸鈉溶液容易氧化分解，若使用時間過長或系統逢節假日停運時間較長，除了從水箱放水讓反滲透膜隔一段時間運行數小時、使系統保持活性外，也要對次氯酸鈉溶液適時進行更換。

四、混合離子交換柱通常都采用一用一備的，細菌在靜止青島電子超純水設備中能夠迅速繁殖，通常在備用混床投入運行前，對其進行再生，以保證殺菌效果。

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